技術前沿

清華大學科研成果MEMS振動傳感器樣品通過檢測

時間：2018-09-13 作者：閱讀：4313

MEMS傳感器是利用集成電路技術工藝和微機械加工方法將基于各種物理效應的機電敏感元器件和處理電路集成在一個芯片上的傳感器。具有體積小、質量輕、功耗低、靈敏度高、可靠性高、易于集成以及耐惡劣工作環境等優勢，從而促進了傳感器向微型化、智能化、多功能化和網絡化的方向發展。

MEMS振動傳感器可用于機械中的振動和位移、轉子與機殼的熱膨脹量的長期監測；生產線的在線自動檢測和自動控制；科學研究中的多種微小距離和微小運動的測量等。MEMS振動傳感器已廣泛應用于能源、化工、醫學、汽車、冶金，機器制造，軍工，科研教學等諸多領域。

MEMS振動傳感器作為獲取信息的關鍵器件，對各種傳感裝置的微型化起著巨大的推動作用。隨著MEMS技術的快速發展使得MEMS傳感器受到各發達國家的廣泛關注，紛紛將MEMS傳感器技術作為戰略性的研究領域之一，并制定相關的計劃并投入巨資進行專項研究。

近期，國家光電子中心圓滿完成了清華大學科研成果——MEMS振動傳感器樣品的檢測任務。

MEMS振動傳感器既是國家高技術研究發展計劃(863計劃)制造裝備檢測用多功能微納傳感器專項的科研成果，也是針對武漢鍋爐股份有限公司關于在超高溫條件下監測鍋爐內振動環境要求的研制成果。

科研成果驗收是科研創新的關鍵所在，檢驗檢測則是科研成果驗收的主要手段。MEMS振動傳感器屬于科研成果，在國內還沒有相關的測試標準。按照該項目驗收要求，國家光電子中心與項目科研人員充分溝通交流，結合國家相似類別設備標準提出檢測方案，并通過檢測結果表明該傳感器已達到設計目標，凸顯了檢驗檢測對科技創新的基礎支撐作用。

MEMS傳感器作為國際競爭戰略的重要標志性產業，以其技術含量高、市場前景廣闊等特點備受世界各國的關注。近十年來，中國MEMS傳感器產業生態系統也正逐步完善，從研發、設計、代工、封測到應用，完整產業鏈已基本形成，國家對MEMS傳感器行業也給予了前所未有的政策支持。

我國MEMS產業發展面臨了重大的機遇，特別是移動互聯網和物聯網的快速發展，將對MEMS產業產生深遠的影響，并將催生大量新的產品、新的應用，帶動MEMS產品在日常生活及工業生產中的普及化。

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